真空燒結爐爐內的工作壓力能提成低於大氣壓強的工業爐。真空燒結爐用電加熱﹐被加熱的構件表層不被氧化、不脫碳、變型小、機械性能方面好。用真空燒結爐冶煉金屬材料有利於去除雜物,制成品針口少、偏析小、質量優。真空燒結爐適用於高品質、高純度、難熔金屬材料的冶煉和加熱,例如用於鎢、鉬、鉭、鈮、鈦、耐熱合金鋼的冶煉和磁性材料、電工材料、高強鋼、不銹鋼、工作鋼、工作鋼等的熱處理。真空燒結爐出現於20世紀30年代期間,1927年美國製成電工材料真空退火爐,1953年真空自耗電弧爐在工業生產上已用于冶煉海綿鈦,50年代期間真空感應爐在工業生產上獲得廣泛運用,1960年美國研製成油淬真空燒結爐。
真空燒結爐通常由爐內、電加熱裝置、密封性爐蓋、真空系統、供配電系統和控溫系統等組成。密封性爐蓋用碳鋼或不銹鋼焊成,可卸構件的接合面用真空密封件密封性。為防止爐蓋遇熱后變型和密封件遇熱發生變質,爐蓋通常用水冷或氣冷降溫,爐內位於密封性爐蓋內。依據爐子主要用途,爐內內部配有不一樣類別的加熱元件,如電阻、磁感應電磁線圈、金屬電極和射線管等。冶煉金屬材料的真空燒結爐爐內內配有坩堝,有的還配有自動澆注裝置和裝卸料的機械手等。真空系統主要是由真空泵、真空閥門和真空計等組成。